光刻技术专业委员会

职别	姓名	单位
名誉主任委员委员	曹健林	科学技术部
主任委员	叶甜春	中科院集成电路创新研究院
秘书长	韦亚一	中国科学院微电子研究所
副主任委员	李艳秋	北京理工大学
	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
	杨怀江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
	杨国强	中国科学院大学