光刻技术专业委员会

职别	姓名	单位
荣誉主任委员	曹健林	科学技术部
主任委员	叶甜春	中科院集成电路创新研究院
副主任委员	李艳秋	北京理工大学
	王向朝	浙江大学
	杨国强	中国科学院化学研究所
	程建瑞	上海微电子装备（集团）股份有限公司
	黄   宇	深圳市海思半导体有限公司
	刘世元	华中科技大学
	陈开盛	上海光刻电子科技有限公司
秘书长	韦亚一	中国科学院微电子研究所
秘书	何建芳	中国科学院微电子研究所